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真空舱系统
规格参数
最大直径
1200mm
真空度
MIN:2Pa
最小可检漏率
5×10-13 Pa•m3/s
真空舱系统测试台
技术参数
最大直径:1200mm
真空度:2Pa
最小可检漏率:5×10-13 Pa•m3/s
满足国标
T/CATSI 02010-2022《气密性氦泄漏检测方法》